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六氟化鎢
化學式：WF6
純度規格：6N
包裝：10L/40L
重量：25kg/100kg
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產品描述
參數
六氟化鎢主要用電子工業中，作為金屬鎢化學氣相沉積（CVD）工藝的原材料，用於製成大規模集成電路（LSI）中的配線材料WSi2。目前，派瑞特氣公司高純六氟化鎢產品的國內市場覆蓋率達100%，國際市場覆蓋率達40%以上。
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