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三氟化氮
純度規格：4N6
包裝：47L/470L/Bundle/ISO
重量：20kg/200kg/320kg/4t/6t/8t
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參數
三氟化氮（NF3）的主要應用
IC方面：由於作為半導體工業中氣體清洗劑的全氟烴(PFC)對環境有害,近年來有逐漸被三氟化氮(NF3)取代之勢。使用NF3作為化學蒸氣沉積(CVD)箱清洗劑,與全氟烴相比,可減少污染物排放量約90%,且可顯著提高清洗速度,從而可提高清洗設備能力約30%。
LCD方面：NF3還可用作蝕刻劑,也用於液晶顯示器(LCD)的加工。為此,近年來NF3需求量急劇增長。
太陽能電池：NF3作為蝕刻和清洗氣體也在太陽能電池製造行業廣泛應用。
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