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混合氣
純度規格：5N、6N
包裝：0.4L、0.7L、2L、4L、8L、40L、47L
溫度/℃：20℃
壓力/Mpa：＜15MPa
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參數
派瑞特氣公司承擔國家科技02專項“高純電子氣體研發與產業化”項目，該項目涉及19種高純電子氣體和12種混合氣體，派瑞特氣公司完成六氟乙烷、八氟丙烷、八氟環丁烷、氯化氫、氟化氫、四氟化矽及10種混合氣體的研發和產業化。
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